智能稀释配气仪的日常维护保养应该注意哪些细节？

 

日常使用前，应先检查气路连接与密封性。查看减压阀、接头、管路是否松动、漏气，有异常气味或流量不稳时，立即用检漏液检测并紧固，严禁带泄漏运行。气源压力必须在仪器规定范围，过高会损伤流量控制器，过低则配比不准。开机后先空载运行片刻，观察各路流量显示是否正常，无漂移、无报错再正式配气。

 

气路与过滤器维护是关键。所有进入仪器的气体必须经过干燥、过滤、除油，防止粉尘、水汽、油污堵塞 MFC 流道。建议在进气口加装高效过滤器，滤芯按使用频率定期检查更换，变色、受潮、堵塞时立即更换。定期吹扫管路，排出残留气体，避免不同气体交叉污染，影响低浓度配比精度。

 

清洁与环境控制同样重要。仪器应放置在干燥、无尘、无腐蚀性气体的环境中，远离热源与潮湿区域。保持面板、显示屏、操作按键清洁，用干净软布擦拭，禁止直接用水或有机溶剂冲洗机身。保持散热口通畅，不堆放杂物，保证电控模块散热良好，防止过热导致数据漂移。

 

阀门与流量控制器保养需格外谨慎。避免频繁、野蛮开关阀门，防止电磁阀线圈过热或阀芯磨损。长期不用时，关闭气源与电源，将管路内余气排空。质量流量控制器为精密部件，不可私自拆卸、校准，出现流量不准、线性偏差时，由专业人员用标准流量计标定。

 

安全与记录管理不可忽视。定期检查电源线、插头、开关是否完好，接地可靠。使用易燃易爆、腐蚀性气体时，必须做好通风与防爆防护，实验结束后清理气路。建立日常维护台账，记录气源压力、过滤器更换、检漏结果、异常情况等，做到早发现、早处理。

 

通过重视密封、过滤、清洁、干燥四大细节，可有效保证配比精度，延长气路组件与核心控制器寿命，让智能稀释配气仪长期稳定、安全运行。